ナノ・マイクロ機能物性材料

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1. 目的
   ナノ材料計測分科会は，MEMSや電子デバイスなどのマイクロデバイスの信頼性向上に寄与する材料評価技術，計測技術，シミュレーション技術に係わる専門家が集まり，これらの議論を行う場です．本分科会の目的は，性能および信頼性に優れるマイクロデバイスの設計・開発に要求される，マイクロ・ナノサイズの材料や構造体の機械・電気物性計測法，デバイスの評価項目および方法を検討し，次世代のマイクロ・ナノデバイスの実用化に向けた技術提言を行うことです．
   
   
2. 背景と内容
   近年の微細加工技術の進歩により，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や半導体デバイスに代表される，様々な機能を有するマイクロデバイスが開発されています．半導体デバイスの中には既に実用化されているものが多く見られますが，半導体分野から派生したMEMSデバイスの実用例はそれほど多くはありません．この理由の一つは，MEMSの信頼性の評価項目に関する取り決めがないことにあります．したがって，光学や医学などの分野での活躍が期待されているMEMSデバイスの実用を目指す取り組みを，今以上に行う必要があります．そのためには，まず，MEMSの実用を視野に入れた，性能・信頼性に関する評価項目を抽出することが重要です．現状では，とくに，(1) MEMS構成材料の機械的・電気的性質の定量計測を行うこと，(2) 定量計測した物性をデバイス設計に正しく反映させること，(3) 製作したMEMSデバイスの長期信頼性の保証や寿命予測のための計測・評価を行うこと，などの項目が，MEMSの高信頼性化に重要な意味を持つと考えられています．
   本分科会では，MEMSの信頼性に係わる計測・評価・シミュレーション技術の議論を行い，性能・信頼性に優れる次世代MEMSデバイスのための評価項目や手法を検討します．また，研究・開発に係わる講演会に加えて，種々の計測技術の基礎に関連する勉強会も併せて開催いたします．開催頻度は年2回程度とし，他の学会（例えば，日本機械学会や電気学会など）との共催で，多くの専門分野におられる研究者・技術者より幅広い意見を出していただくことを期待しています．微小材料の物性，加工，計測，評価にご興味をお持ちの方は，是非ご参加ください．